低溫恒溫槽是自帶制冷和加熱的高精度恒溫源，可在機內(nèi)水槽進行恒溫實驗，或通過軟管與其他設(shè)備相連，作為恒溫源配套使用。那么具體應(yīng)用范圍都有哪些呢？

    對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

    對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。